Il danno dell'elettricità statica nella camera bianca
Semiconduttori, display a schermo piatto, optoelettronica e altre camere bianche, nonostante un sacco di lavoro, i problemi elettrostatici nella camera bianca influenzano ancora la sicurezza della produzione e la resa del prodotto, influenzando costi e benefici di produzione, influenzando la qualità e l'affidabilità del prodotto.
1. Forza elettrostatica di Coulomb
Sotto l'azione della forza elettrostatica di Coulomb, la polvere e lo sporco assorbiti causano perdite di componenti o creano un cortocircuito, che compromette le prestazioni e riduce notevolmente la resa e l'affidabilità. Se la dimensione delle particelle della polvere è> 100 μm, la larghezza del filo di alluminio è di circa 100 μm e lo spessore del film di ossido è di 50 μm, il prodotto è più probabile che venga scartato. Ora il diametro del filo è più fine, il film di ossido è molto sottile e le particelle di polvere con piccole dimensioni delle particelle danneggeranno i componenti. Ciò accade principalmente nei processi di pulizia della corrosione, fotolitografia, saldatura a punti e imballaggio.
2, scarica elettrostatica ESD
(1) Il film di ossido isolante del componente è rotto e il piombo è bruciato o la linea è bruciata. Se il corpo umano trasporta 10KV (100PF) di carica statica, l'ESD si verifica quando il dispositivo viene toccato e la corrente di scarica dell'impulso raggiunge picchi fino a 20A (10 ~ 100s) in modo istantaneo sulla terra, per non parlare dell'alta densità, bene diametro del filo, film sottile di SiO2. Lsi, Vlsi, è l'IC generale, MOS subirà danni.
In generale, l'intensità del campo di tensione di tenuta del film SiO2 del gate isolante del dispositivo è E = (5-10) × 106 V / cm. Se lo spessore del film del dispositivo SiO2 è 1000, la tensione statica di 50V-100V o più verrà colpita quando viene applicato il pin di input del dispositivo. Indossare e il corpo con elettricità statica superiore a 50 V, 100 V è molto comune.
(2) causando rumore ed emettendo interferenze elettromagnetiche
L'ESD fa sì che l'EMI abbia un picco acuto prima e dopo l'onda elettromagnetica, e il segnale è forte, che equivale a qualche volt di energia nel circuito. La frequenza si estende su alcuni MH2 o centinaia di MH2 di forte rumore, che possono causare danni ai componenti, apparecchiature e sensori non funzionano correttamente o addirittura causare il blocco del dispositivo.
L'EMI causato da ESD causa anche un input di un segnale di errore o un fenomeno di latching. In una stanza pulita, la scatola EMIF del wafer viene posizionata su un carrello di acciaio e l'ESD del wafer viene trasmessa al carrello attraverso l'induttore. La ruota è isolata e la diffusione di EMI causa l'arresto del gestore di wafer.
(3) Shock elettrico al corpo umano
Quando l'ESD del corpo umano o l'ESD del corpo umano supera la corrente limite dello shock elettrico del corpo umano di 5 mA o più, le persone avranno varie sensazioni di ferita, causando ansia emotiva e errori operativi dello staff.
Le camere bianche come i semiconduttori, i monitor a schermo piatto e l'optoelettronica hanno fatto molto lavoro, ma i problemi statici nelle camere bianche incidono ancora sulla sicurezza della produzione e sul rendimento del prodotto, influendo sui costi e sui vantaggi di produzione e sulla qualità e affidabilità del prodotto. Secondo esperti industriali stranieri, la perdita annuale di prodotti a causa dell'elettricità statica negli Stati Uniti è in media dell'8-33%. Alcuni ritengono che il danno annuale all'industria elettronica negli Stati Uniti valga 10 miliardi di dollari. Negli anni '80, il Giappone ha analizzato i prodotti elettronici rottamati. La perdita causata dai conti ESD per 1/3. I semiconduttori della Cina, i display a cristalli liquidi a pannello piatto, l'optoelettronica, ecc. Sono iniziati in ritardo, ma di tanto in tanto si verificano anche rischi elettrostatici e la resa è bassa. Banche, società di valori mobiliari, banche dati riservate, centri di monitoraggio, reparti di dispacciamento dell'energia elettrica, ecc., Se si verifica ESD, è facile causare interferenze e i dati vengono persi, la situazione è ancora più grave.