Adsorbimento elettrostatico del ventilatore ionico
Nel settore LCD, il substrato di vetro diventa più grande e anche la capacità di attrarre cariche è migliorata. A causa delle grandi dimensioni del substrato, qualsiasi contaminazione può comportare una diminuzione della resa. Come altre industrie di controllo dell'inquinamento, l'industria LCD ha cercato nuovi materiali in grado di risolvere i problemi di ESD. I materiali utilizzati nelle camere bianche sono anche più propensi a usare soffiatori di ioni antistatici e nuovi materiali possono essere provati su tamponi di cotone e stracci invece di materiali tradizionali.
Il più grande problema con il controllo ESD in una stanza pulita è il movimento delle persone nella stanza bianca. Poiché le persone indossano molti tessuti in poliestere, generano molta carica elettrica. L'unico modo per rimuovere questa carica in una stanza pulita è a terra.
Negli ultimi cinque anni, è stato rilevato che un sistema di abbigliamento costituito da una miscela di fibra di carbonio e tessuto fornisce requisiti di camera pulita per ISO 5 (Classe 100).
Ogni parte del capo ha la stessa conduttività elettrica e ha una connessione elettricamente conduttiva dal cappuccio alla suola. Le persone che lavorano in una stanza pulita possono camminare attraverso la suola conduttiva senza messa a terra quando si indossano tali vestiti, in modo che non siano limitati dalla lunghezza del filo di terra.
L'emergere di tali indumenti da lavoro è il risultato di elevate esigenze sul prodotto, che aiuta a ridurre la bassa resa e l'alto tasso di cattive condizioni causato da problemi di ESD nella camera bianca.
Non esiste un metodo di riparazione economico e rapido per il controllo della ventola a ioni ESD. La chiave è controllare l'ESD, come una ventola a flusso laminare sospeso o installare una ventola di ionizzazione accanto al materiale che deve controllare l'ESD. Quando la dimensione del chip (IC) diminuisce, diventa più sensibile a ESD. Ora, il controllo dell'ESD non è limitato alla protezione della rete di lavoro, ma anche al controllo del wafer e del personale che produce il wafer. Molte aziende con standard elevati stanno controllando l'ESD in questo modo.
